我国MOCVD设备供应商有中微公司、中晟光电、广东昭信等，近年来，随着蓝光LED产能向中国大陆转移，MOCVD设备市场需求旺盛，SiC涂层石墨基座作为其核心部件之一，市场需求空间随之扩大碳化硅（SiC

外延是激光芯片、LED芯片以及其他化合物芯片的关键，没有好的外延，后续的努力都很被动。而如何长出高质量的外延，生产常用的MOCVD设备，这是一种化合物在衬底表面成膜的工艺设备，其中牵涉有机化学、络合反应等等，其中选用和外延晶格匹配的衬底很是关键