芯片互连
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芯片互连技术的转变:从铜基体系到新型金属化的路径
芝能智芯出品 随着半导体制造技术迈入极小的纳米节点,互连技术正面临前所未有的挑战,在接近1nm(10Å)节点的制程中,传统的铜基互连面临着功率消耗和信号延迟问题,导致设计和材料的转型变得迫在眉睫
芝能智芯出品 随着半导体制造技术迈入极小的纳米节点,互连技术正面临前所未有的挑战,在接近1nm(10Å)节点的制程中,传统的铜基互连面临着功率消耗和信号延迟问题,导致设计和材料的转型变得迫在眉睫