据业界消息，三星显示在去年年底建设8.6代OLED生产线的过程中，因静电吸附装置导致大型基板的剥离与附着工序遇到困难。静电吸附装置利用静电力将玻璃基板紧密贴合于下部板，是维持大面积基板平整度以实现精密
据业界消息，三星显示在去年年底建设8.6代OLED生产线的过程中，因静电吸附装置导致大型基板的剥离与附着工序遇到困难。静电吸附装置利用静电力将玻璃基板紧密贴合于下部板，是维持大面积基板平整度以实现精密蒸镀的核心部件。此外，通过调节氦气与温度等参数，还能确保温度均匀性与剥离稳定性。
特别是在8.6代OLED工程中，静电吸盘正在成为左右量产稳定性的核心变量。因为与现有的第6代（1500mm×1850mm）相比，基板大型化为8.6代（2290mm×2620mm），需要控制重力带来的下垂。再加上OLED在真空环境中沉积有机物的工艺特性，要求基板的平坦度、温度均匀度和静电控制同时进行，因此静电吸盘的重要性得到了提高。
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