高精度补偿
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基于软PLC的高精度运动控制系统应用
本应用基于PC的软PLC运动控制方案，结合实时以太网EtherCAT协议通讯(COE)，采用了分布式时钟技术，及多种软件补偿算法，并通过在Wafer打墨点设备上的验证，研究分析如何利用运动控制技术和多种补偿方式实现高精度定位的目的。
本应用基于PC的软PLC运动控制方案，结合实时以太网EtherCAT协议通讯(COE)，采用了分布式时钟技术，及多种软件补偿算法，并通过在Wafer打墨点设备上的验证，研究分析如何利用运动控制技术和多种补偿方式实现高精度定位的目的。
